Combinazione intelligente di accuratezza e produttività

All’insegna del motto “Where accuracy meets throughput” (Dove l’accuratezza si sposa con la produttività), HEIDENHAIN, ETEL, NUMERIK JENA e RSF Elektronik hanno presentato alla SEMICON West nuove soluzioni per processi front-end e back-end nella produzione di semiconduttori e per applicazioni elettroniche.

di Alma Castiglioni

La presenza di HEIDENHAIN, ETEL, NUMERIK JENA e RSF Elektronik alla SEMICON West di San Francisco, fiore all’occhiello del programma fieristico internazionale Semicon per l’industria della microelettronica, è stata all’insegna del motto “Where accuracy meets throughput” (Dove l’accuratezza si sposa con la produttività).
Le quattro aziende hanno presentato soluzioni per processi front-end e back-end nella produzione di semiconduttori e per applicazioni elettroniche dove, oltre alla misurazione di posizione altamente accurata, si punta sull’integrazione della tecnologia di azionamento, di misura di posizione e di controllo per soluzioni meccatroniche di produttività molto elevata.
I sistemi di movimento di ETEL combinano accuratezze di posizionamento assolute inferiori a 1 µm con accelerazioni estremamente elevate e movimenti precisi. Tali caratteristiche si applicano al sistema di recente sviluppo TELICA, che festeggia il suo debutto alla SEMICON West, come pure alle affermate piattaforme VULCANO e CHARON 2.

Accuratezza dinamica e accuratezza di posizionamento
Le particolarità dei sistemi di movimento sono il frutto dei sistemi di misura ottici di HEIDENHAIN caratterizzati da un’elevata accuratezza dinamica unita a un’elevata accuratezza di posizionamento.
Il ridotto errore di interpolazione dei sistemi di misura migliora le prestazioni dei motori lineari e riduce la generazione e il trasferimento di calore nella macchina, soprattutto in applicazioni altamente dinamiche. Grazie alla conseguente riduzione degli errori indotti termicamente, il sistema offre maggiore accuratezza con la medesima dinamica di massimo livello. Le righe graduate ZERODUR migliorano inoltre l’accuratezza di misura senza dilatazione termica. La ridotta rumorosità e i minimi errori di base, meno di ±0,175 µm in un intervallo di 5 mm, contribuiscono ulteriormente all’eccezionale accuratezza dei sistemi di movimento. I sistemi di movimento mirano all’estrema accuratezza di posizionamento. HEIDENHAIN e ETEL hanno collaborato alla messa a punto di una soluzione speciale per l’integrazione dei sistemi di misura. Questa particolare configurazione protegge in modo efficace i sistemi di misura da un possibile riscaldamento, ad esempio da parte del motore, e quindi anche del circuito di misura da errori lineari di carattere termico.

Sistema di misura lineare aperto per l’industria dei semiconduttori
Alla SEMICON West, NUMERIK JENA ha presentato il sistema di misura lineare incrementale aperto LIKgo. Grazie alle dimensioni compatte, al passo di divisione ridotto e ai passi di misura molto contenuti, è particolarmente indicato per l’impiego in impianti produttivi e di prova dell’industria dei semiconduttori. La testina di misura presenta una lunghezza di appena 28 mm, una larghezza di 13 mm e un’altezza di 7,5 mm. Il supporto di misura di soli 8 mm di larghezza dispone di un passo di divisione di 20 µm, con la possibilità di raggiungere passi di misura di appena 78,125 nm.
Per la misurazione di posizione e la regolazione della velocità di motori torque, RSF Elektronik ha sviluppato il sistema di misura angolare modulare assoluto MCR 15. Disponibile in molte varianti per diametri esterni da 59,93 mm a 350,23 mm e con diverse interfacce seriali.
In funzione del diametro, i sistemi di misura angolari MCR 15 consentono un’accuratezza del sistema fino a ±10 secondi d’arco e passi di misura fino a 0,038 secondi d’arco.